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          1200℃集成型自動小型PECVD系統

          更新時間: 2023-07-24

          訪問次數: 3940

          產品報價:

          產品簡介: PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。集成型PECVD系統PECVD-12IH-500A、1200℃小型PECVD系統PECVD-12IH-4Z/G

          詳細資料:

          產品用途

          PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。

          PECVD系統配置;

          1.1200度開啟式滑動單溫區真空管式爐

          2.等離子射頻電源

          3.多路質量流量控制系統

          4.真空系統(單獨購買)

          產品特性;

          電源范圍廣;溫度范圍寬;濺射區域長;整管可調;精致小巧,性價比高,可實現快速升降溫,是實驗室生長薄膜石墨烯,金屬薄膜,陶瓷薄膜,復合薄膜等的理想選擇,也可作為擴展等離子清洗刻蝕使用。

           

          系統名稱

          集成型PECVD系統

          1200℃小型PECVD系統

          系統型號

          PECVD-12IH-500A

          PECVD-12IH-4Z/G

          控制方式

          液晶屏微PLC控制系統

          手動

          極限溫度

          1200

          加熱區長度

          200mm

          恒溫區長度

          100mm

          溫區

          單溫區

          石英管管徑

          Φ60mm

          Φ50mm

          額定功率

          1.2Kw

          2Kw

          額定電壓

          220V

          滑動方式及距離

          自動滑動;200mm

          手動滑動;200mm

          溫度控制

          30段程序控溫

          50段程序控溫

          控制精度

          ±1

          爐管極限工作溫度

          1200

          氣路法蘭

          采用多環密封技術卡箍快速連接

          排風冷卻裝置

          的空氣隔熱技術,結合熱感應技術,當爐體表面溫升到50℃時,

          排溫風扇將自動啟動,使爐體表面快速降溫。

          氣體控制方式

          質量流量計(按鍵式)

          氣路數量

          2路(2-4路)

          4路(可根據具體需要選配氣路數量)

          流量范圍

          0-500sccm(標準毫升/分,可選配)氮氣標定

          精度

          ±1%F.S

          響應時間

          1sec

          工作溫度(流量計)

          20-120

          工作壓力

          進氣壓力0.05-0.3Mpa(表壓力)

          進氣方式

          采用防倒流設計

          規格

          中真空(集成型請單獨購買)

          系統真空范圍

          10Pa-100Pa

          真空泵

          雙級機械泵理論極限真空度3x10-1Pa,抽氣速率4L/S(選配:其他抽速真空泵),出氣口配有油污過濾器,額定電壓220V,功率0.55Kw

          信號頻率

          13.56MHz±0.005%

          功率輸出范圍

          0W-500W

          0W-100W

          大反射功率

          350W

          30W

          射頻輸出接口

          50Ω,N-type,temale

          功率穩定度

          ±0.1%

          諧波分量

          -50dbc

          供電電壓

          單相交流(187V-253V)頻率50/60HZ

          整機功率

          70%

          屏幕顯示

          正方向功率,匹配器電容位置,偏置電壓值

          爐體外形尺寸

          290×350×340mm

          290×350×495mm

          系統外形尺寸

          420×1440×1100mm

          530×2310×750mm

          系統總重量

          270Kg

           

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