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          CVD管式爐是由哪些部件組成的?分別又有什么功能?

          更新時間:2022-06-28    發布時間:2022-06-28    點擊次數:2906
            近年來,隨著儀器行業的不斷發展,CVD管式爐在市場上得到了快速地發展。由于其突出的表現,受到了廣泛用戶的青睞。目前本產品可以廣泛地應用于納米電子學、半導體、光電工程的研發、涂料等領域,下面我們就來具體的了解一下這款儀器!
           
            CVD管式爐與普通設備完整不同。此外,由于直接著火,任何走漏都可能招致爆炸或火災,這也是非消防設備無法比較的。 加熱式管式爐的爐管壁溫為400-650℃,加熱反響式管式爐(氫轉化爐)的壁溫常常在850-1000℃的范圍內。高溫爐圈接受低工作壓力,如蒸餾爐,普通1-3mpa,高壓加氫爐,高達18-20mpa。
           

           

            CVD管式爐主要由高溫腔體、石英管、石英支架、氣路系統、分子泵機組、自動化控制系統、冷卻系統等組成。
            1、沉底材料可采用銅箔、石墨等;
            2、生長腔體采用進口高純石英管,配石英支架、為石墨烯等材料的生長提供潔凈環境;
            3、爐膛采用進口高純氧化鋁多晶體纖維,不易掉粉、壽命長且保溫性能好。加熱絲采用摻鉬鐵鉻鋁合金加熱絲,溫場均勻,能耗低;
            4、密封法蘭均采用不銹鋼材質,配水冷套,可連續長時間工作;
            5、氣路系統采用兩路質量流量計(可拓展多路),配預混系統;
            6、氣體種類: He/Ar、C2H2、NH3、N2, H2、PH3、GeH4、B2H6;
            7、溫度、氣體、真空、冷卻水等通過PLC控制,通過PC實時控制和顯示相關的實驗參數,自動保存實驗參數,也可采用手動控制;
            8、系統采用集成化設計,控制系統、混氣罐、質量流量計等均內置在箱體內部,占地面積小。整體安裝四個可移動輪子,方便整體移動。
           
            好了!關于CVD管式爐結構特點的講解,今天我們就說到這里,希望您看完有所收獲,后期我們也會陸續更新。
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